Rubrik: Sonderthema
(Treffer aus pharmind, Nr. 10, Seite 961 (1999))
Kahlden T
Verfahren und Durchführung der Kontrolle von Reinräumen / Selbstzweck und Dokumentationspflicht / Kahlden T
Verfahren und Durchführung der Kontrolle von Reinräumen
Selbstzweck und Dokumentationspflicht
Thomas von Kahlden
CCI -von Kahlden GmbH (Contamination Control Instruments),
Stuttgart
Diese technische Neuentwicklungen konzentrieren
sich gegenseitig auf kleine Strukturen und kleine Bauteile, wobei im besonderen
die Mikromechanik und die Mikroelektronik anzusprechen sind. Aber auch
andere Industrie- und Forschungszweige wie die Gen- und Bioverfahrenstechnik
erfordern den Einsatz von Reinräumen. Reinräume werden unabhängig von
ihrem Einsatzgebiet flächenmäßig in verschiedensten Größen erstellt. Das
Spektrum reicht von der sogenannten LF-Box bis zum Großreinraum mit einigen
tausend Quadratmetern, wie sie in der Halbleiterfertigung benötigt werden.
Allen Reinraumanlagen ist gemein, daß nach der Inbetriebnahme zum Nachweis
der spezifizierten Qualität Abnahmemessungen durchgeführt werden müssen.
Ab der Aufnahme der Produktion gilt es, auch die Parameter, die einen
Reinraum definieren, kontinuierlich oder in Intervallen zu überwachen.
Im vorliegenden Beitrag wird auf die Parameter von Reinräumen, der Vorgehensweise
bei Abnahme- und Monitoringmessungen sowie die dafür notwendigen Protokolle
und Verfahren eingegangen. Die Art der durchzuführenden Abnahmemessungen
orientiert sich stark an der VDI-Richtlinie 2083, Blatt 3. Um einen dem
Reinraum und der Fertigung entsprechenden Monitoringplan aufstellen zu
können, werden die dabei relevanten Punkte diskutiert. Darüber hinaus
werden Anregungen gegeben, wie neben den z. B. in der Pharmazie vorgeschriebenen
Überwachungsmessungen auch Messungen zur Optimierung der Fertigung durchgeführt
werden können.
Key words Dokumentationspflicht
· Reinräume
© ECV- Editio Cantor Verlag (Germany) 1999